製品情報 真空圧力センサー / スイッチ メーカー28社の製品一覧

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真空圧力センサー / スイッチとは

真空圧力センサー/スイッチとは、真空ラインや装置内の負圧(真空度)を検出・管理する機器。真空状態の圧力変化を計測して連続した電気信号で出力(センサー)、または設定した真空度で接点をオン/オフ(スイッチ)する。検出方式にはピエゾ抵抗式(シリコン感圧素子)やピラニゲージなどがあり、ワークの真空吸着確認や真空チャンバー内の圧力監視など、要求される真空度や用途に応じて選定する。

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