"ハーモテック" の製品情報一覧
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                ハーモテック
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                    ウェーハ搬送装置円筒室内で高速の旋回流を発生させる。その旋回流中心部の負圧によりウェハを非接触グリップ 
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                    ロボットハンド用搬送チャック”KUMADE” 円筒室内で高速の旋回流を発生させ、旋回中心部の負圧により対象を把持するVortex Chuck 
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円筒室内で高速の旋回流を発生させる。その旋回流中心部の負圧によりウェハを非接触グリップ
”KUMADE” 円筒室内で高速の旋回流を発生させ、旋回中心部の負圧により対象を把持するVortex Chuck
 
            
            限られたスペースやコストで、効率的に熱を逃しつつ、信頼性を確保する放熱設計について解説!