ウェハマニュファクチュアリングシステム、CMP装置、プロービングマシン、ポリッシュ・グラインダ、ウェーハダイシングマシン

誘導加熱装置

横型熱処理炉

分割投影露光装置、投影露光装置、プロキシミティ露光装置、マスクアライナー、ロールtoロール投影露光装置

コータ・デベロッパ、ウェーハ洗浄装置、熱処理装置、計測装置、後工程用露光装置、イオン注入装置

SiCパワーデバイス熱処理装置、薬液供給装置・スラリー供給装置、ALD装置

ワイヤボンダ、ダイボンダ

FPDコータ/デベロッパ、FPDプラズマエッチング/アッシング装置

熱処理成膜装置、コータ／デベロッパ、プラズマエッチング装置、サーフェス プレパレーション装置、枚葉CVD装置、ウェーハプローバ

ダイシング装置、ダイボンダー、前工程要素機器関連、チップ移載装置、超音波ドライクリーナー

ワイヤボンダ、ダイボンダ、フリップチップボンダ、プラズマ処理装置、VPSリフロー装置、ダイシングシステム

ダイシングソー、カッティングソー、レーザソー、グラインダ、ポリッシャ、ドライエッチャ、サーフェースプレーナー

メタライゼーション装置、成膜装置、エッチング装置、アッシング装置イオン注入装置、スパッタリング装置、蒸着装置、微細配線用スクリーン印刷機、昇華装置、液晶滴下・真空貼り合せ装置

高真空アニール炉、周波数調整装置、ベース電極成膜装置

スパッタリング装置

スパッタリング装置

薬液加熱器（半導体・液晶用）、ホットプレート、ベークユニット

ホットプレート、クーリングプレート

タイトラー付き周辺露光装置、周辺露光装置、2次元コードリーダ、非接触アライメント露光装置、ピンアライメント露光装置

UVイールド・イノベータ、バンプ高さ測定装置

電子ビームマスク描画装置、マスク検査装置、エピタキシャル成長装置

マグネトロンスパッタリングシステム、熱蒸着システム、E-ビーム蒸着システム、反応性イオンエッチングシステム、プラズマプロセスシステム、コンパクトリサーチコーター等

スピンドライヤー、ウエハ移載機、リフトオフ装置、テープマウンター、プリカッター、テープ剥がし機、ダイシングフレーム洗浄装置、キャリア洗浄機

タイトラー、露光装置、コータシステム、レーザーカッター、ボンダー他

ウェハーへのIDマーキング装置、フリップチップボンダー、封止装置

ウェーハマウンター、ウェーハデマウンター、ウェーハ面取機、チップソータ、ソーター、半導体エージング装置、リフトオフ装置、ウェーハ加工機、組立機（ボンダー）

ダイボンダー、ダイソーター、クリップボンダー、インラインキュア装置

テープ貼付け、プレス、搬送・整列、基板分割、移載

半導体 / LED / 太陽電池分野向け、露光装置、エッチング装置、洗浄装置、乾燥機等

シリコン深掘り装置、エッチング装置、成膜装置、熱処理装置

コーターシステム、ガラスカッティングシステム、基板搬送システムオートローダー、基板搬送ロボット

EFEM/ソーター、ウェーハ搬送ロボット、アライナ、ロードポート、SMIFポッドオープナ