"ハーモテック" の製品情報一覧
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ハーモテック
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ウェーハ搬送装置
円筒室内で高速の旋回流を発生させる。その旋回流中心部の負圧によりウェハを非接触グリップ
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ロボットハンド用搬送チャック
”KUMADE” 円筒室内で高速の旋回流を発生させ、旋回中心部の負圧により対象を把持するVortex Chuck
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円筒室内で高速の旋回流を発生させる。その旋回流中心部の負圧によりウェハを非接触グリップ
”KUMADE” 円筒室内で高速の旋回流を発生させ、旋回中心部の負圧により対象を把持するVortex Chuck