"ニコン 半導体装置事業" の製品情報一覧
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                ニコン 半導体装置事業
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                    露光装置ArF液浸スキャナー、ArFスキャナー、KrFスキャナー、i線ステッパー 
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                    アライメントステーション露光前の全てのウェハに対して、高速かつ高精度にグリッド歪みの絶対値を計測。補正値を露光装置にフィードフォワードすることで、スループットを落とさずに重ね合わせ精度を大幅に高めている。 
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                    計測・検査装置自動マクロ検査装置、ウェハ外観検査装置、イメージセンサー検査用照明装置 
 
            


 
            





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