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"ニコン 半導体装置事業" の製品情報一覧

  • ニコン 半導体装置事業

  • 露光装置

    ArF液浸スキャナー、ArFスキャナー、KrFスキャナー、i線ステッパー

  • アライメントステーション

    露光前の全てのウェハに対して、高速かつ高精度にグリッド歪みの絶対値を計測。補正値を露光装置にフィードフォワードすることで、スループットを落とさずに重ね合わせ精度を大幅に高めている。

  • 計測・検査装置

    自動マクロ検査装置、ウェハ外観検査装置、イメージセンサー検査用照明装置