"ニコン 半導体装置事業" の製品情報一覧
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ニコン 半導体装置事業
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露光装置
ArF液浸スキャナー、ArFスキャナー、KrFスキャナー、i線ステッパー
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アライメントステーション
露光前の全てのウェハに対して、高速かつ高精度にグリッド歪みの絶対値を計測。補正値を露光装置にフィードフォワードすることで、スループットを落とさずに重ね合わせ精度を大幅に高めている。
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計測・検査装置
自動マクロ検査装置、ウェハ外観検査装置、イメージセンサー検査用照明装置