"東京精密" の製品情報一覧
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東京精密
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半導体製造装置
ウェハマニュファクチュアリングシステム、CMP装置、プロービングマシン、ポリッシュ・グラインダ、ウェーハダイシングマシン
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三次元座標測定機
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表面粗さ・輪郭形状測定機
表面粗さと輪郭形状をワントレースで測定できる高効率のハイブリットタイプから、生産現場でも使用できるポータブルタイプまで提供。
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真円度・円筒形状測定機
円筒形状ワークピースを高精度に測定できるテーブル回転型と、偏心・高重量ワークピースに対応する検出器回転型の両タイプをラインナップ
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空気・電気マイクロメータ
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レーザ干渉測長器
長さの変位やヨーイング・ピッチングの測定、回転角度測定、振動や停止時のオーバーシュートや速度ムラの測定などに対応可能。