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真空ポンプとは

真空ポンプとは、容器や配管などから気体を移送し排出する装置。達成できる真空度や構造により、非常に多くの種類がある。機械式では油回転ポンプやルーツポンプなどの回転ポンプ、ピストンポンプ、分子ポンプ、蒸気を利用するエジェクターポンプや拡散ポンプ、水流を使う水流ポンプなどがある。その他に、気体を排出せずに凝結や吸着を利用して気体を固定するイオンポンプ、サプリメーションポンプ、クライオポンプなどもある。

  • キヤノンアネルバ

  • 真空ポンプ

    イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置、ライトプロセス用ルーツ型ドライポンプ、フォアライントラップ、省エネ型クライオポンプ、クライオポンプ、コンビネーションポンプ、チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ、エクセルポンプ、イオンポンプ・ノーブルポンプ、エドワーズ真空ポンプ

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