製品情報 ステージ　メーカー48社の製品一覧

ドライリン

露光・高精度検査装置用XYステージ

ラックピニオンステージ、ねじ送りステージ、粗微動ステージ、ブロックステージ、クロステージ

X/XYステージ、Zステージ、回転ステージ、スイベル（ゴニオ）ステージ

高速・高精度に対応したパルスモータ駆動方式の汎用形精密位置決めテーブル

6自由度の3Dステージ

ナノレベルの位置決めやアライメント用

ボールねじ、リニアガイド、サポート軸受を一体化したオールインワン構造で軽量コンパクトな一軸アクチュエータ

リニアモーター単軸ステージ

リニアステージ、多軸ステージ

X軸ステージ、XY軸ステージ、Z軸ステージ、回転ステージ、ゴニオステージ、スリム自動ステージ

ボールねじと直動案内機器をコンパクトにユニット化した単軸ユニット

狭い空間でも高精度な位置決め

ピエゾステージ、直動/回転ステージ、真空仕様自動ステージ

高精度ステッピングモータステージ　POSICONシリーズ、高精度ＡＣサーボモータステージ　SAFシリーズ、高精度シャフトモータステージ　SF/SSシリーズ

直動ステージ、ゴニオステージ、回転ステージ、モータレス(直動)、モータレス(ゴニオ/回転)

直動ステージ、ゴニオステージ、回転ステージ、ステージユニット

Manual/Motorized Linear/Rotary/Goniometer Stages

精密板金加工による、薄く軽量なステージ

高速移動と多方向での正確なアライメントを必要とするアプリケーション向け

位置決め/測長システム

1軸・2軸ステージ、XＹθステージ、Ｚチルトステージ、ＸＹθＺステージ

音波定在波ピエゾモーターによって駆動、リニアステージ、ロータリーステージ

Linear motion, Rotary motion, Air-bearing、Mechanical bearing、Lift stage、Goniometer

直動ステージ、回転・チルトステージ、光学ミラーアライメント用、対物レンズフォーカス用、精密加工機用 他

数十mmの可動全域をナノレベルでポジショニングが行え、スケール内蔵により高い位置再現性も備えた長ストローク高精度ステージ

現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニット

無摩擦テーブル、マイクロ無摩擦テーブル、位置決めテーブル

イメージング、ナノポジショニングのための手動、電動、多軸ステージ

倒立顕微鏡用電動ステージ、正立顕微鏡用電動ステージ、ウェハ観察用ステージ、電動ブリッジステージ