"アルバック" の製品情報一覧
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アルバック
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真空ポンプ(低・中真空)
ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、イオン真空ポンプ、ターボ分子ポンプ、油拡散真空ポンプ、クライオポンプ、その他真空ポンプ
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半導体用・電子部品用・FPD及びPV製造装置
スパッタリング装置、PE-CVD装置、蒸着装置、アッシング装置、ドライエッチング装置、イオン注入装置、真空炉、凍結真空乾燥装置
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真空バルブ
真空アングルバルブ、真空ゲートバルブ、振り子バルブ
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真空計
ピラニ真空計から電離真空計、極高真空計まで、大気圧から極高真空(10-12Pa)
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真空ポンプ(高真空)
ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、スパッタイオンポンプ