"住友重機械工業 メカトロニクス" の製品情報一覧
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                住友重機械工業 メカトロニクス
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                    リニアモータ高精度なスキャン動作を可能にするリニアモータ 
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                    モーションコントローラ高速なサーボ処理と、装置に最適な制御アルゴリズムの組み込みが可能な高性能コントローラ 
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                    精密位置決め装置 XYステージ露光・高精度検査装置用XYステージ 
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                    真空エアサーボステージ高精度な半導体製造装置に必須となる位置決めステージ。真空状態で高速・高精度に動作してナノレベルの位置決めが可能なエアサーボステージ。 
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                    AI搭載型 3次元追従外観検査システム対象製品をあらゆる角度から検査可能 (ロボットアームにより3Dで追従) 
 
            

