"住友重機械工業 メカトロニクス" の製品情報一覧
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住友重機械工業 メカトロニクス
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リニアモータ
高精度なスキャン動作を可能にするリニアモータ
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モーションコントローラ
高速なサーボ処理と、装置に最適な制御アルゴリズムの組み込みが可能な高性能コントローラ
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精密位置決め装置 XYステージ
露光・高精度検査装置用XYステージ
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真空エアサーボステージ
高精度な半導体製造装置に必須となる位置決めステージ。真空状態で高速・高精度に動作してナノレベルの位置決めが可能なエアサーボステージ。
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協働ロボット - Sawyer
フォースセンシング機能を兼ね備えた関節により、これまで困難だったピン入れなどの繊細な作業を可能にしている
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AI搭載型 3次元追従外観検査システム
対象製品をあらゆる角度から検査可能 (ロボットアームにより3Dで追従)