"キヤノンアネルバ" の製品情報一覧
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キヤノンアネルバ
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半導体製造装置
スパッタリング装置、ドライエッチング装置、原子拡散接合装置
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真空計
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真空バルブ製品
超高真空L型オールメタルバルブ、超高真空L型ポリイミドバルブ、アイソレイトバルブ、粗引きバルブ、リークバルブ、インレットバルブ、超高真空バリアブルリークバルブ
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X線源
透過密閉型X線管を搭載したマイクロフォーカスX線源
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真空ポンプ
イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置、ライトプロセス用ルーツ型ドライポンプ、フォアライントラップ、省エネ型クライオポンプ、クライオポンプ、コンビネーションポンプ、チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ、エクセルポンプ、イオンポンプ・ノーブルポンプ、エドワーズ真空ポンプ